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기계연, '정전 방식 가스 및 미세먼지 동시 저감 기술' 2019 출연연 우수 연구성과 10선 선정
이름 관리자 작성일 2020.04.27 조회수 1404

 

기계연, '정전 방식 가스 및 미세먼지 동시 저감 기술'

NST(국가과학기술연구회) '2019 출연연 우수 연구성과 10선'에 선정

 

 

한국기계연구원 환경시스템연구본부장 김용진 책임연구원이 개발한 '정전 방식 가스 및 초미세먼지 동시 저감 기술'이 NST(국가과학기술연구회) '2019 출연연 우수연구성과 10'에 선정됐다.

  

우수성과에 선정된 '정전 방식 가스 및 미세먼지 동시 저감기술'은 반도체 제조 공정에서 배출되는 온실가스를 처리할 때 발생하는 오염물질을 효과적으로 제거할 수 있는 통합형 배기가스 처리 시스템이다.

 

연구팀은 화학 반응시 발생하는 정전 라디컬을 이용해 배기가스를 물에 잘 녹도록 만들고,복합환원제를 분무해 오염물질이 제거되도록 만들었다. 최종적으로 배출되는 초미세 미스트와먼지는 자동세정형 전기집진 장치로 다시 한번 제거하여 정화 효율을 극대화했다.

  

최근 반도체 제조에 필요한 웨이퍼의 직경이 커지고, 대면적 디스플레이 생산이 증가하는 등 관련 산업 발전에 따라 발생하는 오염물질의 양이 증가하고 있어 해당 기술에 대한 관심이 커지고 있다.

 

 

 

    반도체 생산 공정 오염물질 제거를 위한 정전 방식 가스/먼지 동시 저감장치