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KIMM 보유기술

KIMM 보유기술의 대한 정보입니다.

미세방전공극을 형성하는 평판형 고농도 및 고순도 오존생성장치
차세대 반도체나 OLED 제조공정에의 활용을 위하여 초미세 방전공극형성을 통하여 Footprint를 최소화하고 오존생성수율을 극대화할 수 있는 고농도/고순도의 오존생성장치 기술
  • 고객/시장 반도체 및 FPD 제조업체/반도체/OLED/실리콘 태양전지 세정분야, 반도체 ALD 공정, 산화막형성공정, 감광막제거공정, 수 처리 분야 등
  • 지식재산권현황
    • • 방전관에 내부장착되어 미세 방전공극을 형성하는 평판형 고농도 및 고순도 오존생성장치(KR1109552)
    • • 전자기장을 이용한 고농도 오존수 생성 장치(KR2014-0003109)
    • • 수전극을 이용한 동축형 연면방전식 오존생성장치(KR1001858)
    • • 냉각수를 전극으로 사용하는 오존방전방법 및 그 장치(KR515692)
  • 연구자 손영수
첨부파일 다운로드미세방전공극을_형성하는_평판형_고농도_및_고순도_오존생성장치.pdf

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