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플라즈마 기반 유연기판 점착제어 및 보호막 증착기술
연구책임자 이학주
대상산업(기업) 반도체/디스플레이 장비기업
고객/시장 ㅇ 반도체/디스플레이 장비기업
기술이 가져다 주는 명백한 혜택 ㅇ 유연기판 접착력개선 및 보호막 증착기술
- 대기압 Homogeneous Plasma 발생에 따른 플라즈마 표면처리 시간 감소 (1초 이내)
- 유연소자 장시간 수명확보를 위한 PEALD 보호막 증착기술 (소자수명 10년 이상)
ㅇ ALD 공정 청정화기술
- 진공펌프 교체시 빈번히 발생하는 화재/폭발 등 안전사고 예방
- 미분해 전구체 청정화처리에 따른 진공펌프 수명연장
기술의 차별성 ㅇ 대기압에서 균일 플라즈마 발생을 위한 L전극 반응기 구조/구동기술
ㅇ ALD 친환경 공정 구현을 위한 진공 플라즈마 후처리 기술
희망파트너십 기술이전
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